儀器簡介：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀是根據(jù)我公司的控制技術(shù)并按照高校廣大師生需求設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，此AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀主要特點(diǎn)是控溫?zé)o誤、7寸顯示屏顯示、觸摸控制、操作簡單方便，可以存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀具有強(qiáng)大的數(shù)字處理功能，實(shí)時(shí)在線顯示和記錄反應(yīng)數(shù)據(jù)和曲線圖像，程序控制反應(yīng)條件，可將實(shí)驗(yàn)分為多個(gè)工作階段，可隨時(shí)在線修改不適宜反應(yīng)條件參數(shù)，具有保存和查詢實(shí)驗(yàn)記錄的功能。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀作用原理是在化學(xué)氣相沉積（CVD）基礎(chǔ)上利用微波輻射，產(chǎn)生等離子體。在微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）的技術(shù)下，石墨烯通常以薄膜形式沉積在襯底表面。其中高溫的襯底相當(dāng)于催化劑，能提高分解率。

應(yīng)用領(lǐng)域：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀適用于制備石墨烯材料、SiOx、TiN、TiCN、金剛石涂層等。在金屬、玻璃、聚合物以及其他材料表面沉積有機(jī)或無機(jī)薄膜來保護(hù)其他表面不被腐蝕或改變其表面硬度、增強(qiáng)耐磨性能等。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀能催化完成微波等離子體相關(guān)應(yīng)用，包括但不限于以下方面：

1、半導(dǎo)體加工：在半導(dǎo)體的蝕刻、濺射、氣相沉積、氧化硅片等生產(chǎn)工藝中使用微波等離子體技術(shù)。

2、表面處理：應(yīng)用于金屬、合金、非金屬的表面處理，如金屬表面的清洗和強(qiáng)化。

3、有害氣體排放控制：通過微波等離子體技術(shù)減少有害氣體的排放。

4、等離子體光譜分析：可以用于檢測(cè)多種元素，并用于分解有毒化合物。

5、食品加工：在食品干燥、殺菌、熟成、烘焙食品、脫腥、彭化和冷藏等方面也有應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)：

1、微波頻率：2450MHz；

*2、功率:0-2000W，功率自由設(shè)置，微波功率隨溫度自動(dòng)變頻控制，非脈沖連續(xù)加熱。

*3、功率上限隨意設(shè)置，并且具有設(shè)置功率下限功能，保證一直有功率輸出。

*4、控溫方式3種，分別是以設(shè)置的上限功率加熱到設(shè)定溫度然后保溫模式、初始溫度經(jīng)過設(shè)置的時(shí)間到達(dá)設(shè)定溫度從而達(dá)到緩慢升溫效果的速率升溫模式、設(shè)置每分鐘升溫溫度度數(shù)的升溫斜率模式。

*5、測(cè)溫和控溫范圍:0～1200℃；具有速率升溫功能。

6、測(cè)溫精度:≤±0.2℃ 控溫精度:≤±1℃；

7、30升316L奧氏體不銹鋼腔體，表面耐腐蝕、耐高溫性強(qiáng)；

8、高精度非接觸式紅外溫度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)溫度，準(zhǔn)確控制反應(yīng)進(jìn)程；

*9、具有磁控管保護(hù)器，可連續(xù)不間斷持續(xù)工作。

*10、7英寸高亮度TFT液晶顯示觸摸屏直接操作，Cortex-A8 CPU核心，配備USB接口；實(shí)時(shí)顯示反應(yīng)溫度和功率數(shù)據(jù)，并顯示曲線，可以保存和查詢實(shí)驗(yàn)記錄；

*11、采用無誤AI人工智慧邏輯算法 ，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜長滯后對(duì)象無誤控制，保證控溫?zé)o誤，杜絕出現(xiàn)超溫、低溫等現(xiàn)象；

*12、反應(yīng)腔體為石英腔體，反應(yīng)區(qū)尺寸：Φ200*300 mm ；

13、配備氣氛接口5路（可根據(jù)客戶需求定制）；

14、可以進(jìn)行氣氛、真空以及微正壓環(huán)境下反應(yīng)實(shí)驗(yàn)；

15、微波泄漏符合國家標(biāo)準(zhǔn)。

*表示我公司優(yōu)勢(shì)技術(shù)。